-
1 микрозазор
( при бесконтактном экспонировании) Abstandsspalt, ( при экспонировании) Belichtungsabstand -
2 микрозазор
nmicroel. Abstandsspalt (при бесконтактном экспонировании), Belichtungsabstand (при экспонировании), Quasikontakt (между фотошаблоном и пластиной при фотолитографии)